“发车！”14日上午，长沙市天心区新开铺路1025号，随着货车的平稳启动，中国电子科技集团公司第48研究所研发生产的第100台国产离子注入机发往用户，标志着国内首家离子注入机自研量产企业的诞生，也代表国产离子注入机已成功通过产业化考验。

　　中国电子科技集团公司第48研究所成立于1964年，隶属于中国电子科技集团有限公司，是国内唯一从事以离子注入机、电子束曝光机、分子束外延装备为典型代表的三束（离子束、电子束、分子束）为主的骨干科研生产单位，产品包括装备和传感器，并具备装备整线集成能力。

　　“离子注入机是芯片制造中至关重要的核心设备之一，开发难度仅次于光刻机。”第48研究所党委书记王平介绍，在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，并按预定方式改变材料的电性能。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备，使元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。

　　作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业，第48研究所深耕离子束技术近60年，现已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，量产的百台设备均广泛应用于国内各大集成电路先进产线，全面参与国产芯片制造的核心环节。

　　近年来，天心区科技工作取得突破性进展。创新主体持续跃升，全区拥有高新技术企业386家、科技型中小企业423家、科技型企业储备1000家以上；创新成果加快转化，全区技术贸易合同登记金额突破100亿元，登记项数达3487 项，位居全市前列，全社会研发投入占比2.64%，连续三年稳居全市前列，2022年科技创新工作获评长沙市真抓实干表彰激励。

　　此外，天心区抓住长株潭都市圈建设等重大战略机遇，以创建湖南创新型城区为契机，深入实施“科创天心”强基赋能专项行动，正稳步推进国家第三代半导体技术创新中心（湖南）、国家医学中心、8 英寸 SiC（碳化硅）外延装备关键技术等重大平台及项目建设。

　　王平表示，第48研究所将继续扎根集成电路领域补链强链，提升我国芯片产业链供应链韧性和安全水平，并不断推动更多科研成果在湘实现转化和产业化，助力国家重要先进制造业高地和具有核心竞争力的科技创新高地建设。

　　原标题：《长沙晚报头版报道天心丨国内首家离子注入机自研量产企业长沙诞生》

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